Correlation between Leakage Current and Stacking Fault Density of p-n Diodes Fabricated on 3C-SiC

著者名:

• T. Kawahara
• N. Hatta
• K. Yagi
• H. Uchida
• M. Kobayashi

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2009 : selected peer reviewed papers from the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009, Nurnberg, Germany, October 11-16, 2009

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

645-648

発行年:

2010

パート:

1

開始ページ:

339

終了ページ:

342

総ページ数:

4

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録