Challenges for Improving the Crystal Quality of 3C-SiC Verified with MOSFET Performance

著者名:

• H. Nagasawa
• K. Yagi
• T. Kawahara
• N. Hatta
• M. Abe

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2007 : selected peer reviewed papers from the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2007, Otsu Prince Hotel Covention Hall, Lake Biwa Resort, Otsu, Japan, October 14-19, 2007

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

600-603

発行年:

2009

パート:

1

開始ページ:

89

終了ページ:

94

総ページ数:

6

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録