Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC on Silicon-Porous Silicon-Silicon (SPS) Substrates

著者名:

F. La Via

A. Severino

G. D'Arrigo

S. Leone

M. Mauceri

G. Abbondanza

A. Terrasi

さらに 2 件

掲載資料名:

State-of-the-art program on compound semiconductors 45 (SOTAPOCS 45) and wide bandgap semiconductor materials and devices 7

シリーズ名:

ECS transactions

シリーズ巻号:

3(5)

発行年:

2006

開始ページ:

287

終了ページ:

298

総ページ数:

12

出版情報:

Pennington, N.J: Electrochemical Society

ISSN:

19385862

ISBN:

9781566775052 [1566775051]

言語:

英語

請求記号:

E23400/3-5

資料種別:

国際会議録