Surface profiler for fixed through-glass measurement

著者名:

Han, S. ( Veeco Instruments (USA) )

Novak, E. ( Veeco Instruments (USA) )

Wissinger, J. ( Veeco Instruments (USA) )

Guenther, B.W. ( Veeco Instruments (USA) )

Browne, T. ( Veeco Instruments (USA) )

Yanine, E. ( Veeco Instruments (USA) )

Schurig, M. ( Veeco Instruments (USA) )

Herron, J.D. ( Veeco Instruments (USA) )

McCloy, C. ( Veeco Instruments (USA) )

Li, X. ( Veeco Instruments (USA) )

Krell, M.B. ( Veeco Instruments (USA) )

Harris, J. ( Veeco Instruments (USA) )

さらに 7 件

掲載資料名:

Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS IV

シリーズ名:

Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering

シリーズ巻号:

5716

発行年:

2005

開始ページ:

189

終了ページ:

197

総ページ数:

9

出版情報:

Bellingham, Wash.: SPIE - The International Society of Optical Engineering

ISSN:

0277786X

ISBN:

9780819456908 [081945690X]

言語:

英語

請求記号:

P63600/5716

資料種別:

国際会議録