54. Modelling of HfO, film deposition from Hf(mmp)4
- 著者名:
Yano, T. Kagotswne, A. Fujitnoro, T. Hoshino, M. Watanabe, T. Asai, M. Horii, S. Miya, H. Kamiyo, M. Hirao, K. - 掲載資料名:
- Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium
- シリーズ名:
- Electrochemical Society Proceedings Series
- シリーズ巻号:
- 2003-14
- 発行年:
- 2003
- 開始ページ:
- 437
- 終了ページ:
- 442
- 総ページ数:
- 6
- 出版情報:
- Pennington, NJ: Electrochemical Society
- ISSN:
- 01616374
- ISBN:
- 9781566773966 [1566773962]
- 言語:
- 英語
- 請求記号:
- E23400/200314
- 資料種別:
- 国際会議録
類似資料:
SPIE - The International Society of Optical Engineering |
Trans Tech Publications |
SPIE-The International Society for Optical Engineering | |
Electrochemical Society |
Electrochemical Society |
Materials Research Society |
MRS - Materials Research Society |
Trans Tech Publications | |
Trans Tech Publications |
Materials Research Society |