Kinetics of the Formation of Cu(I)BTA Films

著者名:

• Al-Hinai, A.
• Osseo-Asare, K.

掲載資料名:

Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium

シリーズ名:

Electrochemical Society Proceedings Series

シリーズ巻号:

2002-1

発行年:

2002

開始ページ:

91

終了ページ:

100

総ページ数:

10

出版情報:

Pennington, NJ: Electrochemical Society

ISSN:

01616374

ISBN:

9781566773294 [1566773296]

言語:

英語

請求記号:

E23400/2002-1

資料種別:

国際会議録