Superconformal Electrodeposition of Copper
- 著者名:
Moffat, T.P. Bonevich, J.E. Huber, W.H. Stanishevshky, A Kelly, D.R. Stafford, G.R. Josell, D. - 掲載資料名:
- Electrochemical processing in ULSI fabrication III : proceedings of the international symposium
- シリーズ名:
- Electrochemical Society Proceedings Series
- シリーズ巻号:
- 2000-8
- 発行年:
- 2000
- 開始ページ:
- 1
- 終了ページ:
- 12
- 総ページ数:
- 12
- 出版情報:
- Pennington, N.J.: Electrochemical Society
- ISSN:
- 01616374
- ISBN:
- 9781566772730 [1566772737]
- 言語:
- 英語
- 請求記号:
- E23400/2000-8
- 資料種別:
- 国際会議録
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