Blank Cover Image

THICKNESS DEPENDENT SENSITIVITY OF GATE OXIDES TO SURFACE CONTAMINATION

著者名:
Ridley, R.
Wu, C.-T.
Roman, P.
Dolny, G.
Grebs, T.
Stensney, F.
Ruzyllo, J.
さらに 2 件
掲載資料名:
Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
99-36
発行年:
1999
開始ページ:
158
終了ページ:
164
総ページ数:
7
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566772594 [1566772591]
言語:
英語
請求記号:
E23400/99-36
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Wu, C.T., Ridley, R., Dolny, G., Grebs, T., Hao, J., Suliman, S., Venkataraman, B., Awadelkarim, O., Williams, R., …

Electrochemical Society

Ridley, R.S., Brozek, T., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Grebs, T., Ridley, R., Chang, K., Wu, C.-T., Agarwal, R., Mytych, J., Dimachkie, W., Dolny, G., Michalowicz, J., …

Electrochemical Society

Brubaker, M., Staffa, J., Roman, P., Fakhouri, S., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

K. Chang, T. Witt, A. Hoff, R. Woodin, R. Ridley, G. Dolny, K. Shanmugasundaram, E. Oborina, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

Roman, P., Tsai, C.-L., Hengstebeck, R., Pantano, C., Berry, J., Kamieniecki, E., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Roman, P., Lee, D.-O., Wang, J., Wu, C.-T., Subramanian, V., Brubaker, M., Mumbauer, P., Grant, R., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Chang, K., Shallenberger, J., Chang, F.-M., Shanmugasundaram, K., Roman, P., Mumbauer, P., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Roman, P., Kashkoush, I., Novak, R.E., Kamieniecki, E., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Ruzyllo,J., Roman,P., Lee,D.-O., Brubaker,M., Kamieniecki,E.

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Le Roux, V., Machicoane, G., Borsoni, G., Korwin-Pawlowski, M., Bechu, N., Kerdiles, S., Laffitte, R., Valuer, L., …

Electrochemical Society

Chang, K., Shanmugasundaram, K., Lee, D.-O., Roman, P., Shallenberger, J., Chang, F.-M., Wang, J., Beck, R., Mumbauer, …

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12