Blank Cover Image

Electrochemical Study of Copper Deposition on Silicon Surfaces in HF Solutions

著者名:
掲載資料名:
Electrochemical processing in ULSI fabrication and semiconductor/metal deposition II : proceedings of the international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
99-9
発行年:
1999
開始ページ:
156
終了ページ:
159
総ページ数:
4
出版情報:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566772310 [1566772311]
言語:
英語
請求記号:
E23400/99-9
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Teerlinck, I., Schmidt, H.F., Rotondaro, A.L.P., Hurd, T.Q., Mouche, L., Mertens, P.W., Meuris, M., Heyns, M.M., …

Electrochemical Society

L. M. Huygens, W. Gomes, K. Strubbe

Electrochemical Society

Teerlinck, I., Mertens, P.W., Vos, R., Meuris, M., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

deBokx, P.K., Kidd, S.J., Wiener, G., Urbach, H.P., De Gendt, S., Mertens, P.W., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

Schmidt, H.F, Teerlinck, I., Meuris, M., Mertens, P.W., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

K. Strubbe, I. Huygens

Electrochemical Society

Mertens, P.W., Verhaverbeke, S., Heyns, M.M., Hellemans, L., Snauwaert, J., Dillenbeck, K.

Electrochemical Society

Theuwis, A., Strubbe, K., Gomes, W.

Electrochemical Society

Strubbe, K., Gomes, W.P., Huygens, I.M.

Electrochemical Society

Verhaverbeke, S., Meuris, M., Schmidt, H., Mertens, P., Heyns, M.

Electrochemical Society

Trauwaert, M.-A., Kenis, K., Caymax, M., Mertens, P.W., Heyns, M.M., Vanhellemont, J., Graf, D., Wagner, P.

Electrochemical Society

S. Sioncke, E.R. Simoen, T. Janssens, M.M. Meuris, P.W. Mertens

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12