INVITED: 3 C-SiC EPITAXIAL GROWTH ON LARGE-AREA Si SUBSTRATES: FABRICATION AND APPLICATIONS

著者名:

• Nagasawa, H.
• Yagi, K.

掲載資料名:

Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology

シリーズ名:

Electrochemical Society Proceedings Series

シリーズ巻号:

98-1(2)

発行年:

1998

開始ページ:

1418

終了ページ:

1432

総ページ数:

15

出版情報:

Pennington, NJ: Electrochemical Society

ISSN:

01616374

ISBN:

9781566771931 [1566771935]

言語:

英語

請求記号:

E23400/98-1

資料種別:

国際会議録