Blank Cover Image

The Kinetics of Tungsten Deposition from a H2/WF6- Mixture Studied by In-Situ Laser Raman Scattering

著者名:
掲載資料名:
Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
96-5
発行年:
1996
開始ページ:
808
終了ページ:
813
総ページ数:
6
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566771559 [1566771552]
言語:
英語
請求記号:
E23400/962104
資料種別:
国際会議録

類似資料:

van der Jeugd, C.A., Verbruggen, A.H., Leusink, G.J., Janssen, G.C.A.M., Radelaar, S.

Materials Research Society

Oosterlaken, T. G. M., Luisink, G. J., van der Leugd, C. A., Janssen, G. C. A. M, Radelaar, S.

Materials Research Society

Leusink, G.J., Heerkens, C.Th.H., Janssen, G.C.A.M., Radelaar, S.

Materials Research Society

Oosterlaken, T. G. M., Leusink, G. J., Janssen, G. C. A. M., Radelaar, S., Kuijlaars, K. J., Kleijn, C. R., Akker, H. E. …

MRS - Materials Research Society

Schaffnit, C., Sabuoret, E., Van der Jeugd, C.V., Oosterlaken, T.G.M., Jansen, G.C.A.M., Radelaar, S.

Electrochemical Society

Kalkman, A. J., Verbruggen, A. H., Janssen, G. C. A. M., Radelaar, S.

MRS - Materials Research Society

Leusink, G. J., Oosterlaken, T. G. M., Janssen, G. C. A.M., Radelaar, S.

Materials Research Society

Jongste, J. F., Janssen, G. C. A. M., Radelaar, S.

Materials Research Society

Jongste,J.F., Oosterlaken,T.G.M., Bart,G.C.J., Janssen,G.C.A.M., Radelaar,S.

SPIE-The International Society for Optical Engineering

Lokker, J.P., Janssen, G.C.A.M., Radelaar, S.

Electrochemical Society

Leusink, G. J., Oosterlaken, T. G. M., Janssen, G. C. A. M., Radelaar, S.

MRS - Materials Research Society

Jongste, J.F., Loopstra, O.B., Janssen, G.C.A.M., Radelaar, S.

Materials Research Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12