Microvalve for SMA-based CHAD

著者名:

• Lee, D.G. ( Univ. of California, Los Angeles (USA) )
• Chen, Q. ( Univ. of Central Florida (USA) )
• Shin, D.D. ( Univ. of California, Los Angeles (USA) )
• Carman, G.P. ( Univ. of California, Los Angeles (USA) )

掲載資料名:

Smart structures and materials 2003 : Smart electronics, MEMS, BioMEMS, and nanotechnology : 3-6 March 2003, San Diego, California, USA

シリーズ名:

Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering

シリーズ巻号:

5055

発行年:

2003

開始ページ:

300

終了ページ:

306

総ページ数:

7

出版情報:

Bellingham, Wash., USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering

ISSN:

0277786X

ISBN:

9780819448606 [0819448605]

言語:

英語

請求記号:

P63600/5055

資料種別:

国際会議録