Vacancies and {V,Hn} Complexes in Si:Stable Structures,Relative Stability,and Diffusion Properties

著者名:

• Roberson,M.A.
• Estreicher,S.K.
• Korpas,L.
• Corbett,J.W.

掲載資料名:

Proceedings of the 17th International Conference on Defects in Semiconductors : ICDS-17, Gmunden, Austria, July 18-23, 1993

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

143-147

発行年:

1994

巻:

Pt.2

開始ページ:

1227

終了ページ:

1232

出版情報:

Zurich, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

ISBN:

9780878496716 [0878496718]

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録