Laser crystallization of deposited silicon films

著者名:

Celler, G.K. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

Jeamy, H.J. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

Aspnes, D.E. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

Doherty, C.J. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

Sheng, T.T. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

Trimble, L.E. ( Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey, 07974, USA )

さらに 1 件

掲載資料名:

Laser and electron-beam solid interactions and materials processing : proceedings of the Materials Research Society Annual Meeting, November 1980, Copley Plaza Hotel, Boston, Massachusetts, U.S.A.

シリーズ名:

Materials Research Society symposia proceedings

シリーズ巻号:

1

発行年:

1981

開始ページ:

435

終了ページ:

442

出版情報:

New York: North Holland

ISSN:

02729172

ISBN:

9780444005953 [0444005951]

言語:

英語

請求記号:

M23500/1

資料種別:

国際会議録