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コンピュータシミュレーションによる粉体および線材へのイオン注入分布の一般則
Universal Expression of Projected Range Distributions for Spherical and Cylindrical Shape Target by Computer Simulation

Author(s):
Shotaro TAWARA
田原 憧太郎
Yukio YAMAMOTO
山本 幸男
Masakazu ARAKAWA
荒川 正和
Satoshi SAIJO
西城 理志
Junsei HORIKAWA
堀川 隼世
Tomoaki YONEDA
米田 知晃
7 more
Publication title:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
Pub. Year:
2017
Vol.:
60
Issue:
12
Page(from):
463
Page(to):
466
Pages:
4
Pub. info.:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
Language:
Japanese
Type:
Academic Journal

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