Weiterntwicklung der Elektronenstrahllithographie
- Author(s):
- Dorner, Wolfgang ( VALVO Rohren-und Halbleiterwerke der Philips GmbH )
- Kaker, Jurgen ( VALVO Rohren-und Halbleiterwerke der Philips GmbH )
- Kastmann, Ralf ( VALVO Rohren-und Halbleiterwerke der Philips GmbH )
- Luckert, Jan ( VALVO Rohren-und Halbleiterwerke der Philips GmbH )
- Schwarz, Manfred ( VALVO Rohren-und Halbleiterwerke der Philips GmbH )
- Publication title:
- NASA Technical Reports
- Pub. Year:
- 1983
- No.:
- N84-11415
- Paper no.:
- N84-11415
- Page(from):
- 1
- Page(to):
- 74
- Pages:
- 74
- Pub. info.:
- National Aeronautics and Space Administration
- Language:
- German
- Type:
- Technical Paper
Similar Items:
Society of Automotive Engineering, Inc. |
Society of Automotive Engineering, Inc. |
Society of Automotive Engineering, Inc. |
Society of Automotive Engineers |
Society of Automotive Engineers |
Society of Automotive Engineering, Inc. |
Society of Automotive Engineers |
Society of Automotive Engineers |
5
Technical Paper
Noise control technology with reference to natural gas compressor stations under the aspect of investment costs
The American Society of Mechanical Engineers |
Society of Automotive Engineers |
6
Technical Paper
Prufung, Weiterntwicklung und praktischer Einsatz von Einfach-Luftkollektoren zur Nutzung von Sonnenenergie fur landwirtschaftliche und gewerbliche Zwecke
National Aeronautics and Space Administration |
Society of Automotive Engineers |