Blank Cover Image

Growth Studies and Reaction Mechanism of the Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide

Author(s):
A. Debbie
M. Caymax
S. Brijs
D. Brunco
T. Conard
E. Sleeckx
L. Ragnarsson
S. Van Elshocht
S. De Gendt
M. Heyns
5 more
Publication title:
Physics and technology of high-k gate dielectrics III
Title of ser.:
ECS transactions
Ser. no.:
1(5)
Pub. Year:
2006
Page(from):
433
Page(to):
446
Pages:
14
Pub. info.:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
19385862
ISBN:
9781566774444 [1566774446]
Language:
English
Call no.:
E23400/1-5
Type:
Conference Proceedings

Similar Items:

Elshocht, S.Van, Caymax, M., Gendt, S.De, Conard, T., Petry, J., Claes, M., Witters, T., Zhao, C., Brijs, B., Richard, …

Materials Research Society

Elshocht, S.Van, Brijs, B., Caymax, M., Conard, T., Gendt, S.De, Kubicek, S., Meuris, M., Onsia, B., Richard, O., …

Materials Research Society

Caymax, Matty, Bender, H., Brijs, B., Conard, T., Gendt, S. De, Delabie, A., Heyns, M., Onsia, B., Ragnarsson, L., …

Materials Research Society

Elshocht, S.Van, Brijs, B., Caymax, M., Conard, T., Gendt, S.De, Kubicek, S., Meuris, M., Onsia, B., Richard, O., …

Materials Research Society

Elshocht, S. Van, Carter, R., Caymax, M., Claes, M., Conard, T., Date, L., Gendt, S. De, Kaushik, V., Kerber, A., Kluth, …

Materials Research Society

T. Conard, T. Schram, A. Akheyar, K. Arstila, G. Zschaetzsch, V. Paraschiv, W. Vandervorst, B. Brijs, S. De Gendt, Z. …

Electrochemical Society

De Gendt, S., Brunco, D., Caymax, M., Canard, T., Date, L., Delabie, A., Deweerd, W., Groeseneken, G., Houssa, M., Hyun, …

Electrochemical Society

V. S. Kaushik, K. Rohr, S. Hyun, S. De Gendt, S. Van Elshocht, A. Debbie, J. Everoert, A. Veboso, S. Brus, L. …

Electrochemical Society

A. Delabie, L. Nyns, F. Bellenger, M. Caymax, T. Conard

Electrochemical Society

S. Van Elshocht, A. Hardy, C. Adelmann, M. Caymax, T. Conard

Electrochemical Society

L. Nyns, A. Delabie, M. Caymax, M.M. Heyns, S. Van Elshocht

Electrochemical Society

Vandervorst, W., Brijs, B., Bender, H., Conard, O.T., Petry, J., Richard, O., Elshocht, S.Van, Delabie, A., Caymax, M., …

Materials Research Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12